Polovodičová elektronika
Výroba integrovaných okruhových čipov vyžaduje vysoko špecializované vybavenie, ktoré môžu pracovať vo viacerých drsných prostrediach, ako napríklad:
● Plazma vo vákuovom prostredí;
● Vysoká teplota;
● kontakt s vysoko abrazívnou tekutinou;
● Vystavenie mnohým vysoko korozívnym chemikáliám.
Výhoda
● Presná reprodukcia materiálu dostupného kdekoľvek na svete
● Rozsiahly výber materiálov, inžinierska podpora a testovacie schopnosti
● Schopnosť obrábania, podpora vývoja aplikácie NPI v simulačnom systéme
● Najširšie portfólio materiálov určených pre náradie pre mokré procesy
● Svetovo vedúci výrobca materiálov CMP Ring, vrátane Techtron® PPS (globálny štandard pre aplikácie CMP)
● Materiály používané v suchých procesných nástrojoch, ako sú Etch, CVD a implantácia iónov na zníženie nákladov a zlepšenie výkonu
Bežné materiály
Octa
Ant-statické, statické disipatívne a vodivé plasty
CPVC
Fep
Fluórpolymér
FR polypropylén
Škatuľa
Pvdf
Nylon
Peek
Domáce zviera
PFA
Polyimidová páska
Počítač
Polypropylén
Psu
Pps
Ptfe
Pei
Epoxid
Fenolová bavlnená tkanina
Durostón
FR4/G10
Bakelit
Pevnosť materiálov
Ø Statické disipatívne známky
Ø chemická odolnosť
Ø Nízka tvorba častíc v aplikáciách ložiska a opotrebenia
Ø Charakteristiky s nízkym výnosom
Ø Nízke hladiny extrahovateľnosti pri umiestnení do chemikálií s vysokou čistotou
Ø Vysoko teplotné schopnosti
Ø Dimenzionálne stability
Typické aplikácie
Ložiská
Chemické nádrže
Elektrické izolátory
Flexibilné hadičky
Strážcovia a štíty
Leštiace prstene
Točiť skľučovky
Aplikácie statického riadenia
Skúšobné zásuvky
Komponenty ventilu
Manipulácia s oblátkami
Mokré lavičky a pracovné stanice
Výrobky a aplikácie
Produkt | Aplikácia |
Techtron®pps | Prsteň CMP |
Semitron®CMP XL20 | Leptanie a CVD reakčná komora |
Ketron®1000 Peek | Prevod doštičiek |
Ertalyte®pet-P | Konštrukcia procesu |
Duratron®pai | Vlhké komponenty procesu, HP chemické a vodné skladovacie kontajnery |